На головну

рівняння Гельмгольца | теорема Гріна | Інтегральна теорема Гельмгольца - Кирхгофа | Застосування інтегральної теореми | Граничні умови Кирхгофа | Формула дифракції Френеля - Кирхгофа | Формула дифракції Релея - Зоммерфельда | наближення Кирхгофа | наближення Френеля | Дифракція при контактної фотолітографії |

Якість проекційного зображення

  1. IV. КОМПОЗИЦІЯ ЗОБРАЖЕННЯ І ГРАФІЧНЕ ОФОРМЛЕННЯ
  2. IV. КОМПОЗИЦІЯ ЗОБРАЖЕННЯ І ГРАФІЧНЕ ОФОРМЛЕННЯ ЧЕРТЕЖА
  3. А) Способи зображення просторової будови енантіомерів
  4. Агуна А. В. Управління якістю електроенергії при несинусоїдальних режимах DJVU
  5. Американська школа управління якістю
  6. Аналіз витрат на якість.

У проекційних системах фотолітографії зображення фотошаблона в площині фоторезиста формується за допомогою об'єктива. Наявність оптичної системи передбачає застосування інших, ніж при контактному експонуванні, методів розрахунку формуються мікрозображень і параметрів для оцінки якості.

Для оцінки граничного дозволу проекційної системи використовується критерій Релея, що враховує основний параметр об'єктиву - його апертуру.

На практиці роздільна здатність (дозвіл) часто оцінюють за допомогою тестових решіток з однаковими прозорими і непрозорими смугами (лініями) (рис. 7.1, а). У цьому випадку дозвіл еквівалентно граничного числа пар ліній, відтворених на 1 мм довжини зображення, або просторової частоті n решітки з кроком P:

 (7.1)

Якість просторового зображення фотошаблона після проходження оптичної системи істотно залежить від апертури. Чим менше апертура об'єктива, тим більш розмитим і менш чітким виходить сформований ним зображення. Розподіл інтенсивності в зображенні є вже не прямокутним, а скоріше колоколообразной. В області прозорого вікна фотошаблона інтенсивність, як правило, не дорівнює номінально заданої, а в області тіні вона не дорівнює нулю (рис. 7.1, б).

Для кількісної оцінки якості просторового зображення в оптиці використовують поняття модуляції, Т. Е. Ставлення амплітуди розподілу інтенсивності Ia до середнього значення Im (Рис. 7.1, в). Часто застосовується також еквівалентну поняття контрасту, Який виражається через максимальне Imax і мінімальне Imin значенняінтенсивності (освітленості) зображення (див. рис. 7.1, в):

 (7.2)

Контраст і модуляція вимірюються в долях одиниці або у відсотках.

Мал. 7.1. Просторове зображення елементів топології:

а - На Фотошаблони; б - Після проходження оптичної системи;
в - Модуляція зображення



Розрахунок розподілу інтенсивності | Поняття зображує системи
© um.co.ua - учбові матеріали та реферати